TORRI meertraps draaizuigervacuümpompen zijn de compacte en energie-efficiënte oplossing voor de evacuatie van load-lock-kamers.
Ze worden gekenmerkt door een lage einddruk en supersnelle evacuatietijd.
De compacte en energie-efficiënte oplossing voor load-lock-kamers
– Lage geluids- en trillingsniveaus
– Lichtgewicht
– Kleine afmetingen
– Droog en contactvrij werkingsprincipe
– Lange levensduur
– Lage operationele kosten
